應力儀PSV-413 的適用范圍：

l 適合于檢測復雜構造的玻璃產品；

l 檢測高密度的塑料產品；

l 檢測光學晶體，如氟化鈣等；

l 其他利用偏光場進行的檢測，如SIC晶圓；

主要功能：

1. 觀測透明產品的內部殘余應力分布

2. 在量程范圍內，測量因應力產生的光程差

3. 觀測高透光率晶圓內瑕疵，如SIC晶圓

主要參數： 

設備名稱：應力儀

型號：PSV-413

樣品檢測區域（偏光場）：200*200mm

目視鏡：直徑78mm

可檢晶圓尺寸：4寸，6寸

設備尺寸：291*384*388mm 

重量：11KG

光源： 白色LED ，10W